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광학 현미경의 한계를 초월한 초고해상도 초심도 해석
비접촉 표면 형상 계측 기능 탑재로 형상 측정 분해능 0.01μm
가시광 한계 파장 408nm의 바이올렛 레이저 채용
극한 해상도 0.14μm를 구현
초고정밀도의 세밀한 리얼 컬러 3D 해석 기능 탑재
고해상도로 광범위 시야 해석이 가능한 새로운 기능,「화상 연결」
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| 사양 |
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형식 |
컨트롤러부 VK-9500 측정부 VK-9510 |
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15형 모니터상 배율 |
200 |
400 |
1000 |
3000 |
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대물 렌즈 배율 |
10× |
20× |
50× |
150× |
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관찰 측정 범위 |
가로（Ｈ）：μｍ |
1350 |
675 |
270 |
90 |
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세로（Ｖ）：μｍ |
1012 |
506 |
202 |
67 |
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작동 거리：ｍｍ |
16.5 |
3.1 |
0.35 |
0.2 |
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구멍 수（N.A.） |
0.3 |
0.46 |
0.95 |
0.95 |
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관찰・측정용 광학계 |
핀 홀에 의한 공초점 광학계 |
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높이 측정 |
측정범위 |
7mm |
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표시분해능 |
0.01μm |
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반복 정밀도 σ |
0.02μm※1 |
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수평 해상도：μｍ |
0.14μm |
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표시 분해능 |
1024×768 |
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프레임 메모리 |
영상용(모노크롬） |
1024×768×14bit |
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영상용（컬러） |
1024×768×8bit×3 |
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높이 측정용 |
1024×768×20bit |
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프레임 속도（Hz） |
컬러 |
7.5～15Hz |
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모노크롬 |
9～42Hz |
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라인 피크・라인 막 두께 |
664Hz |
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광학 줌 |
1~6배(0.1배 스텝) |
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오토 기능 |
오토 게인/오토 포커스/오토 디스턴스/오토 피치/오토 세트 |
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측정용 레이저 광원 |
파장 |
바이올렛 레이저 ４０８nm |
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최대 출력 |
0.9Mw |
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클래스 |
ＪＩＳ Class ２ |
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수광 소자 |
ＰＭＴ（광전자 증배관） |
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광학 관찰용 광원 |
램프 |
100Ｗ 할로겐 |
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수명 |
1000시간（평균） |
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색온도 |
3100K |
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광학 관찰용 컬러 카메라 |
촬영 소자 |
1/3형 컬러 CCD 이미지 센서 |
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조정 |
게인, 셔터 속도 |
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화이트 밸런스 |
ＡＵＴＯ/ＭＡＮＵＡＬ/ＰＵＳＨＳＥＴ |
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최대 시료 사이즈 |
시료 최대 높이 |
28ｍｍ ※3 |
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시료 최대 크기 |
직경 318ｍｍ 전면 관찰 가능 |
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Ｚ스테이지 |
스트로크 |
28mm |
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내하중 |
5kg |
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ＸＹ 스테이지 |
스트로크 |
70×70ｍｍ |
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Θ 스테이지 |
회전 |
360도 |
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데이터 처리부 |
당사 지정 전용 ＰＣ（OS：Windows XP ）※4 |
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전원 |
전원 전압 |
AC100~240V 、50/60Hz |
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소비 전력 |
최대 3.5VＡ |
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질량 |
측정부 |
약 23ｋｇ（분리시 헤드 단품：약 10ｋｇ ） |
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컨트롤러부 |
약 11ｋｇ |
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※1 대물 렌즈 150배로 표준 단차 2μm를 측정한 경우
※2 대물 렌즈 150배(광학 줌의 2배)일 때
※3 전용 스페이서 외의 것을 사용하면 100mm 이상 가능합니다.
※4 Windows XP는 미국 마이크로소프트사의 등록 상표입니다.
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외형 치수도
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카달로그
