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광학 현미경의 한계를 초월한 초고해상도 초심도 해석
비접촉 표면 형상 계측 기능 탑재로 형상 측정 분해능 0.01μm
가시광 한계 파장 408nm의 바이올렛 레이저 채용
극한 해상도 0.14μm를 구현
초고정밀도의 세밀한 리얼 컬러 3D 해석 기능 탑재
고해상도로 광범위 시야 해석이 가능한 새로운 기능,「화상 연결」
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| 관찰 애플리케이션 |
화상 연결 애플리케이션 (옵션） |
그림 |
| 해석 애플리케이션 |
새로운 JIS에 대응하는 거칠기 계측 애플리케이션（옵션） |
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입도 해석 애플리케이션（옵션） |
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카달로그
