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광학 현미경의 한계를 초월한 초고해상도 초심도 해석
비접촉 표면 형상 계측 기능 탑재로 형상 측정 분해능 0.01μm
가시광 한계 파장 408nm의 바이올렛 레이저 채용
극한 해상도 0.14μm를 구현
초고정밀도의 세밀한 리얼 컬러 3D 해석 기능 탑재
고해상도로 광범위 시야 해석이 가능한 새로운 기능,「화상 연결」
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| 「극소 핀 홀」기구가 정확한 초점 위치를 검출해줍니다 . 또한 「고정밀 리니어 스케일」을 렌즈 이동 기구에 탑재, Z축 방향으로 렌즈를 확실하게 이동시켜서 0.01μm의 추적 능력(traceability)을 구현. 이 두 가지 고도 엔지니어링을 조합하여 얻은 Z축(높이 측정) 정보에 각 초점 위치(Just Focus)에서의 컬러 CCD 카메라의 리얼 컬러 화상을 겹쳐 놓은 것이 「초심도」 화상입니다. 레이저의 반사 광량 화면과 각 초점 위치에서의 컬러 정보를 혁신적인 기술력으로 결합시켰습니다. |
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◆ 렌즈 이동 기구에 고정밀 리니어 스케일 탑재
◆ Z축 방향 분해능 0.01μm
◆ Z축 계측용 메모리- 70만 스텝(20비트 처리)
◆ 수명이 긴 레이저 광원을 채용 |
핀 홀 공초점의 원리
정확성을 가장 우선시하여 초점이 맞는 빛만을 통과시키는 극소 핀 홀을 채용 . 픽셀(화소)을 핀 홀에 비유하는 CCD 방식에 비하여 핀 흐림이나 누광 등에 의한 노이즈가 없습니다. 초점 위치를 확정할 수 있어 투명체의 막 두께처럼 측정이 어려웠던 계측도 간단하게 해결할 수 있습니다. |
VK-9500의 컬러 초심도 화상 범프（×2000）
공초점 원리를 채용한 독자적인 광학 기술에 의하여 전체적으로 초점이 맞는 화상을 얻을 수 있습니다. |
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카달로그
