세계 최초로 바이올렛 레이저를 채용한 컬러 레이저 현미경 |
컬러 레이저 현미경 최초로
가시광 한계 파장 408nm의
바이올렛 레이저 채용
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| 가시광 영역 한계의 단파장 레이저
“바이올렛 레이저 408nm”를 채용하여 레이저 응용 기술 · 광학 설계 기술 · 화상 해석 기술의 정수를 결집하여 평면 공간 분해능 0.14μm의 해상도를 구현하였습니다. |
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광학 현미경, 극한 해상도 0.14μm 실현 |
새로운 방식의 가시광 한계 파장 408nm “바이올렛 레이저”를 채용하여 광학 현미경 분해능을 훨씬 능가하는 평면 공간 분해능 0.14μm, Z축 계측 분해능 0.01μm를 구현하였습니다. 이로써, SEM에 필적하는 커다란 해석 능력을 가지면서 비접촉으로 고정도 표면 형상 해석이 가능해져 더욱 세분화, 다양화되고 있는 테크놀러지에 필수인 관찰 ·계측 도구가 되었습니다. |
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ＭＯ 디스크
（3000배 광량 초심도 화상） |
페라이트 분말
（3000배 광량 초심도 화상） |
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세형상 해석 애플리케이션으로 고정밀도의 0.01μm 표면 형상 해석 |
표준 형상 해석 애플리케이션으로 모든 표면 해석을 구현 |
대표적 계측 가능 항목
프로파일 계측, 프로파일 비교 계측, 거칠기 계측, 표면 거칠기 계측, 표면적 체적 계측 외
자동 폭높이 측정, 신 JIS에 대응하는 거칠기 계측(옵션), 입도 해석(옵션) |
프로파일 계측 기능 |
컬러 초심도 화상의 임의의 부분에 그은 직선(수평선·수직선·자유선)에 대하여 그 부분의 표면 프로파일을 계측할 수 있습니다. 그 프로파일 상의 2점간의 높이,폭,각도를 계측합니다. |
본딩 패드에 대한 프로브 테스트 후의 형상 계측 예 |
| 선 거칠기 계측 기능 |
| 컬러 초심도 화면 상의 임의의 부분에 그은 직선 (수평성·수직선·자유도) 부분에 대한 「선 거칠기」를 계측할 수 있습니다. 기존의 거칠기 측정기로는 측정 불가능하였던 접촉으로 형상이 변화하는 부드러운 물질이나 젖은 대상물의 「거칠기」도 정확하게 계측할 수 있습니다. |
프린터 글레이즈 표면의 거칠기 계측 예
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세VK-9500이기 때문에 가능한 초고정밀도 리얼 컬러 3D 해석 |
| 대상물의 "있는 그대로"의 상태를
VK-9500의 리얼 컬러 3D로 "있는 그대로" 재현 |
| 컬러 데이터를 포착할 수 있기 때문에 고해상도 컬러 ＣＣＤ 카메라를 채용하여 보다 리얼한 컬러 초심도 해석이 가능해졌습니다 . 또한 대상물을 리얼 컬러 ３Ｄ로 표시함으로써 표면 형상에 대한 “있는 그대로의 형상과 색”을 고정밀도의 시각적 이미지로 표현할 수 있게 되었습니다. 물론 관찰만 가능한 것이 아니라 표면 형상·거칠기·표면적·체적 등 표면 해석에 필요한 계측 기능을 빠짐없이 구비하고 있어 다양한 대상물과 상황에 대응할 수 있습니다. |
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컬러 중합 토너
（6000배 컬러 초심도 화상） |
컬러 중합 토너
（6000배 광량 초심도 화상） |
컬러 중합 토너
（6000배 컬러 초심도 3Ｄ 화상） |
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리얼 컬러 3D해석에서는 대상물 표면의 컬러,광량,고저 정보를
있는 그대로 충실하게 표현할 수 있습니다. |
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컬러 CCD소자 (3000배 컬러 초심도 화상)
(소)컬러 CCD 소자 (3000배 광학 현미경 화상) |
컬러 CCD 소자
（3000배 컬러 초심도 3D 화상） |
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라메 혼입 잉크（2000배 컬러 초심도 화상）
(소)라메 혼입 잉크 (2000배 광학 현미경 화상) |
라메 혼입 잉크
（2000배 컬러 초심도 3D 화상） |
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| 세해석 시작에서 데이터 수집까지 , 필요한 때에 즉시 데이터 수집 |
| 전처리가 일체 불필요하며 보고 싶을 때 즉시 해석 |
| 전처리 가공이 일체 불필요
해석해야 할 이미지가 발생하면 그대로 대상물을 스테이지에 실어 즉시 해석을 시작합니다. 기기의 사전 준비 과정이나 시료 가공을 할 필요가 전혀 없기 때문에 시간을 절약할 수 있습니다. |
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측정에 필요한 시간은 겨우 수십 초
대상물을 스테이지에 올려 놓고 측정 결과를 얻을 때까지 걸리는 시간은 겨우 수십 초에 불과합니다. 순식간에 화면 전체에 초점을 맞춘 「컬러 초심도 화상」을 얻을 수 있습니다. 초심도 화상과 함께 「컬러 ·광량·고저 정보」를 동시에 얻을 수 있으며, 대상물의 모든 상태가 순식간에 밝혀집니다. |
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| 측정 시간은 디지털 레이저 현미경 중 최고 속도
42Hz 고속 스캔 모드 탑재 |
| 디지털 레이저 현미경 사상 최고 속도인 42Hz를 구현, 실시간에 가까운 상태로 관찰 · 해석이 가능합니다 .또한 더블 스캔, 부분 스캔 등 필요한 데이터, 대상물에 따라 보다 단시간에 관찰 · 해석이 가능해졌습니다 |
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| 수집 데이터를 즉시 해석 |
| 「관찰 애플리케이션」으로 포착한 컬러 초심도 화상은 즉시 「해석 애플리케이션」을 통하여 표면 프로파일 형상 , 거칠기 계측, 표면적 · 체적 계측 , 컬러 · ３Ｄ 해석 등 다양한 해석이 가능합니다 . |
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단자 찰과도
(2000배 컬러 초심도 화상) |
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단자 찰과도
(2000배 컬러 초심도 3D 화상) |
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세고해상도·고정밀도로 광시야 관찰을 구현하는 「화상 연결 애플리케이션」 |
| 전동 스테이지 연동과 자동 데이터 수집이 가능한 「자동 연결」기능 |
| 세로 10화면, 가로 10화면으로 최대 100화면까지 연결 가능하며,
연결 데이터는 해석 애플리케이션에 의해 통상적인 데이터와 동일한 표면 해석이 가능 |
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<칩 저항 측정 예>
관찰 배율 400배로 9시야분의 초심도 화상을 결합합니다.
※결합은 모든 관찰 배율에서 세로×가로=100화면까지 가능합니다. |
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연결 데이터 수집 후 자동으로 한 장의 고정도·광시야 화상을 결합합니다 . |
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| 좀더 시야가 넓었으면 …」
그런 경우에 간단하게 시야를 넓혀주는 「수동 연결 기능」 |
전동 스테이지 없이 2，3면 분량의 시야를 한번에 보고 싶다.
그런 요구 사항을 간단하게 구현해주는 수동 연결 기능 탑재. |
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비어홀
（2000배 컬러 초심도 화면상） |
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비어홀 컬러
초심도 화상 4화면 연결 화상 |
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카달로그
