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- 초고속 50kHz 샘플링
- 고분해능 0.01μm
- 투명체 · 수지 · 금속까지 안정측정
- 초장거리 타입을 라인업
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| 투명체, 수지, 금속까지 안정 측정 선진 스펙 CCD 레이저 변위계, 탄생 |
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고정도 CCD 레이저 방식 |
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고정도 ±0.02% |
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고분해능 0.01μm |
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신개발 알고리즘 탑재 |
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1000 mm타입등장 |
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투·수광분리형등장 |
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고속·고정도 CCD 레이저 변위계
LK-G시리즈 |
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| 선진 하이 스펙 |
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| 타협 없는 테크놀로지가, 세계최고, 업계최고의 하이 스펙을 실현했습니다. |
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| 업계최고정도 ±0.02% |
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동급최고 분해능 0.01μm |
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CCD 레이저 변위계의 상식을 뛰어넘는 초고정도를
실현했습니다.
접촉식을 능가하는 고정도가 다양한 어플리케이션에 대응합니다. |
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계속 진화하는 각 업계의 고정도 요구에 여유를 가지고 대응합니다. |
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| 신개발 알고리즘 |
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| 세련된 신개발 알고리즘으로, 기존 검출이 어려웠던 대상물도 고정도로 측정합니다. |
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| 멀티 ABLE 제어 투명체 |
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RPD 알고리즘 반투명체 |
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| 투명체 각층의 반사율을 센싱하여 최적광량으로 조정할 수 있습니다. 재질이나 배경의 영향을 받지 않고 안정측정을 실현하였습니다. |
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내부에서 난반사에 의한 측정 오차를 없앨 수 있습니다.
수지 등의 반투명체를 고정도로 측정하는 것이 가능합니다. |
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| 새로운 디자인의 다기능 컨트롤러 |
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| 선진적인 하이 스펙과 압도적인 검출능력을 받아 들이는 다양한 기능을 컴팩트한 컨트롤러에 응축하였습니다. |
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| 설정지원 소프트 “LK-Navigator” |
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PC를 사용하여 LK-G의 최적설정에서 데이터 수집을 강력하게 서포트할 수 있습니다.
USB로 간단하게 설정할 수 있습니다.
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| <특징1 선진 하이 스펙 > |
| 신개발 Li-CCD·고정도 엘노스터 렌즈를 비롯한 압도적인 선진 테크놀로지를 탑재 |
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정평난 LK시리즈가 가지는CCD 센서 테크놀로지에 한층 더 연구하여
“Li-CCD ”“고정밀도 엘노스터 렌즈” 라고 하는 새로운 기술을 개발하였습니다.
세계최고, 업계최고를 자랑하는 압도적인 하이 스펙을 실현했습니다. |
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고성능 CPU 탑재.
대상물을 센싱하여, 레이저와 CCD를
실시간으로 최적제어. |
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측정 안정도가 높은
“와이드 스폿 타입”과
미소 물체나 형상 측정에 적절한
“소스폿 타입“의 2 종류를 준비. |
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정도, 속도, 감도
통틀어 고차원의
실력을 발휘합니다. |
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센서헤드와 일체화된
고정도 엘노스터 렌즈가
고정도·고안정 측정을
실현합니다. |
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| Li-CCD※ |
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| 화소경계부의 오차를 해소하여, 기존 대비 2배의 고정도를 실현 |
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화소마다의 디지털 출력 특성을 가진 CCD는, 화소 경계부에서 발생하는 단계적인 출력에 의한 오차가 고정도화의 벽이 되고 있었습니다. 그래서, 반사광의 화소내 위치를 출력할 수 있는 Li-CCD를 새롭게 개발하여 기존 대비 2배의 고정도화를 실현했습니다. 게다가 센서 전용 설계를 함으로써 기존 대비 25배의 고속화와 10배의 고감도화를 달성했습니다.
※Li-CCD = Linearized CCD |
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| 일체성형 다이캐스팅 바디 |
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| 케이스의 변형을 방지합니다 |
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| 서브 미크론 이하의 고정도 영역에서는 케이스의 얼마 안 되는 변형도 큰 오차 요인이 됩니다. 그래서, 광학 시스템을 모두 일체화한 고강성·전용 다이캐스팅 바디를 채용했습니다. |
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| 고정도 렌즈 유닛 |
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| 수차에 의한 오차를 줄임 |
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| 반사광을 Li-CCD상에 집광하기 위한 수광 렌즈 유닛을 새롭게 설계했습니다. 신개발, 고정도 엘노스터 렌즈로 수차에 의한 스폿의 변형을 철저하게 줄였습니다. 게다가 센서 헤드와 일체화된 전용 다이캐스팅 하우징을 채용하여, 높은 강성을 실현했습니다. |
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| 카메라용의 고급렌즈로서 정평이 있는 ４매의 렌즈를 조합한 광학방식으로, 수차가 매우 작은 것이 특징입니다. 결상성능이 좋고, 모든 각도로부터 입광한 빛을 １점으로 집광할 수 있습니다. |
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| 초고속 샘플링 50kHz |
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| 고속Li-CCD로 기존 대비 25배의 고속 샘플링을 실현. Li-CCD의 고속 신호를 파형 처리 전용 DSP로 고속 디지털 처리하여 고속성과 고정도 측정을 병행했습니다. 고속으로 이동·회전·진동하는 대상물체를 확실히 측정 가능합니다. |
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고속 회전중의 HDD의
면 진동 측정 |
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그린 시트의 두께 측정 |
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| 고정도 ±0.02% |
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| 고정도 측정을 실현하기 위하여 광학계를 처음부터 재검토하여 고정도 엘닛스터 렌즈와 고직선성 특성을 가진 Li-CCD를 신개발 하였습니다. 대상물에서의 반사광을 고정도로 집광·검출하여 기존 대비 2배의 고정도를 실현하였습니다. 제품의 고정도화 요구에 폭 넓게 대응하고 있습니다. |
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실리콘 웨이퍼의
두께 측정 |
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스패터링 타겟의
마모 측정 |
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| 고분해능 0.01μm |
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| 센서 헤드 내부에 CPU를 내장해, 컨트롤러로 보내는 신호를 모두 디지털화함으로써 외란 노이즈의 영향을 큰 폭으로 줄였습니다. 또한 고강성 일체형 다이캐스팅 바디로 온도 오차를 줄이고 기존 대비 10배 감도의 Li-CCD를 채용하여 신호 노이즈를 줄이는 등 철저하게 고정도 설계를 하여 기존 대비 20배의 고분해능을 실현하였습니다. |
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| 고정도 가공 스테이지의 위치제어 |
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로봇의 정지 정도 측정 |
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| 현장 지향의 설계 컨셉 |
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| 내굴곡 케이블 채용 |
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IP67을 클리어 |
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| 내굴곡 케이블을 표준 채용.로봇 등의 가동부에 안심하여 설치가 가능합니다. |
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높은 방수 성능으로, 가공 현장 등 물보라가 치기 쉬운 장소에서도 안심하고 사용할 수 있습니다.
※렌즈 전면에 물이나 기름이 부착하면, 빛의 굴절로 측정이 불안정하게 되는 경우가 있습니다. |
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| 헤드 호환성·혼재 가능 |
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ND필터
(LK-F1, F2 옵션) |
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| 헤드 내부에 보정 데이터를 내장함으로써 호환성을 확보. 다른 타입의 센서도 동일한 컨트롤러로 사용할 수 있습니다. |
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측정 대상물이 광택이 강한 경면이나 유리면일 때에, 최적인 레이저 광량으로 감쇠하여, 보다 고정도 측정을 가능하게 합니다. |
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| <특징 2 - 신개발 알고리즘 > |
| 센싱기술 “ABLE”과 신개발 알고리즘이
투과, 난반사를 일으키는 대상물에도 대응
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기존의 레이저 변위계로는
투명체나 반투명체, 다중반사체 등의 대상물은 측정하기 어려웠습니다.
새롭게 개발된 표면 센싱기술 “ABLE”와 각각의 특성에 맞은 알고리즘으로 고정도 측정이 가능하게 되었습니다. |
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| ABLE※ |
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| 표면 상태를 센싱하여 레이저 광량을 최적으로 컨트롤합니다 |
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대상물 표면을 센싱하여 레이저 광량을 최적으로 조정합니다. 레이저 발광시간, 레이저파워, 게인(CCD 증폭률)의 3 요소를 인텔리전트로 제어하여, 기존 대비 최대 160배의 광량 조정 폭을 달성하였습니다. 게다가 고성능 CPU에 의한 실시간 제어로 기존 대비 120배의 고속화도 실현하였습니다. 대상물체 상태의 급격한 변화에도 추종 가능합니다.
※ABLE=Active Balanced Laser contorol Engine
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| 신개발 알고리즘과 2 종류의 광학계로
다양한 어플리케이션에 대응
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| 반투명 수지 표면을 고정도 측정 |
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복수의 투명체표면
발광량을 최적화 |
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금속표면의 다중 반사를 배제
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| RPD※알고리즘
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멀티 ABLE 제어
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MRC※알고리즘
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내부까지 비집고 들어간 레이저광이 난반사하여 발생하는 수광 파형의 완만한 퍼짐을 캔슬해서, 진정한 피크(Real Peak)를 검출합니다.
※RPD=Real Peak Detect
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투명체 각층마다 레이저 광량을 최적화하여, 각각의 파형을 합성하는 것으로 투과율이나 반사율의 영향을 받지 않는 고정도 측정을 가능하게 했습니다.
(특허출원 중)
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다중 반사로 복수의 피크가 발생했을 경우, 직전의 수광 파형과 비교하여, 보다 가까운 파형을 「올바른 파형」이라고 판단합니다. (특허출원 중)
※MRC=Multiple Reflection Cancel
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| 반투명체에서는, 내부까지 레이저광이 비집고 들어감으로써 난반사가 발생하여, 수광 파형이 완만하게 퍼집니다. 퍼진 파형의 영향을 캔슬하여, 진정한 피크(Real Peak)를 검출합니다. |
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| 각층에서 반사광을 각각 센싱하여 레이저 광량을 최적화. 각층의 파형을 합성하여 고정도 두께 측정을 가능하게 했습니다. |
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| 다중 반사로 복수의 피크가 발생했을 경우, 직전의 수광 파형과 비교하여, 보다 가까운 파형을 「올바른 파형」이라고 판단합니다. |
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| < 특징3 - 2 WAY 광학계> |
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| 대상물·용도에 맞게 선택할 수 있는
와이드&스폿 2 WAY 광학계를 준비 |
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레이저 스폿 직경은, 새롭게 설계한 cylindrical lens를 탑재한 와이드 레이저와 샤프한 소스폿의 2 타입을 준비. 다양한 대상물·용도에 최적인 성능을 발휘합니다. |
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| Wide spot type |
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| 측정 안정도가 높은 와이드 스폿 타입 |
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면이 거친 대상물체의 미세한 표면 요철에 의한
난반사를 평균화하여, 데이터의 편차를 방지합니다. |
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LK-G15 |
LK-G35 |
LK-G85 |
LK-G155 |
LK-G405 |
LK-G505 |
| A |
20μm |
30μm |
70μm |
120μm |
290μm |
300μm |
| B |
500μm |
850μm |
1100μm |
1700μm |
8300μm |
9500μm |
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| Small spot type |
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| 미소 대상물체나 형상 측정에 적절한 소스폿 타입 |
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최소 20μm의 극소 스폿으로, 미소 대상물체를 확실히 검출합니다. 형상 측정에 최적입니다. |
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LK-G10 |
LK-G30 |
LK-G80 |
LK-G150 |
LK-G400 |
LK-G500 |
| A |
φ20μm |
φ30μm |
φ70μm |
φ120μm |
φ290μm |
φ300μm |
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와이드 스폿이, 「표면 거칠기」흡수하여 초안정 두께 측정을 실현 |
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「표면 거칠기」란? |
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언뜻 보기에는 평면으로 보이는 대상물체의 표면도, 확대 관찰하면 표면의 요철이
상상 이상으로 큰 것을 알 수 있습니다. 이것이 「표면 거칠기」입니다.
기존의 레이저 변위계 스폿은 불과 수 10μm 밖에 없어, 표면 거칠기에 의해서 반사광이 산란하는 경우가 있습니다. |
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〈아래와 같은 화상은 당사 현미경에 의한 확대 영상〉 |
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베어링 외륜(×300) |
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세라믹판(×1500) |
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세라믹 단면과 레이저 스폿의 비교 |
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기존의 스폿 직경의 경우, 표면 거칠기가 요철보다 작고, 반사광이 산란하여 안정된 측정 어렵습니다. |
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두께 측정 대응, 2 헤드 접속 |
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컨트롤러는 2 헤드 접속에 대응합니다. 두께 측정을 디지털 연산으로 고정도로 실현합니다.
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센서가 각각 독립하여 대상물체까지의 거리를 측정합니다. 측정값의 합을 설치 피치로부터 연산하는 것으로 두께를 구합니다.
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레이저와 CCD 양방향의 와이드화 |
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투광 레이저 스폿의 와이드화 |
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특수 형상 렌즈(=cylindrical lens※)를 사용하여, 횡폭만을 넓은 띠 모양으로 레이저 스폿을 만듭니다. 렌즈는, 레이저 변위계의 특성에 맞게 저수차·고정도가 요구됩니다.
※［cylindrical=원통형의］이라는 이름 그대로, 특수한 형상으로 된 렌즈.
투과되는 광의 한쪽 끝은 초점을 맺고 다른 한쪽은 그대로 투과시키는 특성이 있음. |
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CCD 수광 소자의 와이드화 |
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산란광에 의한 수광 위치의 편차를 흡수하기 위해서, 와이드화한
레이저 스폿을 그대로 수광하는 것이 필요합니다. 일반적인 라인
CCD의 50배 정도가 수광폭이 됩니다. |
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| <특징5 - 설정지원> |
| 소프트 PC로 간단설정·분석 설정지원 소프트“LK-Navigator” |
PC를 사용하여 LK-G의 최적설정에서 데이터 수집을 강력하게
서포트할 수 있습니다.
USB로 간단하게 설정할 수 있습니다.
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간단하게 최적설정을 실현 |
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수광 파형 표시 |
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설정은 메뉴에 맞게 선택합니다.
일러스트·해설이 첨부되어 있으므로, 누구라도 간단하게 설정할 수 있습니다. |
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CCD상에 결상된 수광 파형의 표시가 가능합니다. 복수의 수광 파형이 발생하는 투명체의 측정 등에서 위력을 발휘합니다. |
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데이터 저장 |
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측정·통계값 표시 |
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LK-G의 내부 메모리에 축적된 데이터를 비주얼로 표시하여 PC로 데이터를 취득하는 것이 가능합니다. 표시의 확대·축소·중첩이나 커서의 수치 판독 등, 각종 해석 기능을 갖추고 있습니다. |
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컨트롤러의 표시를 PC상에 재현합니다. 설정을 하면서 측정상태를 실시간으로 확인할 수 있습니다. 통계 기능을 사용함으로써 장치가동 시의 확인을 하는 것이 가능합니다. |
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동작환경 |
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항목 |
필요한 환경 |
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CPU |
PentiumIII 400 MHz 이상 |
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대응 OS |
Windows98/98SE/ME/2000/XP |
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메모리 용량 |
64MB |
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디스플레이 해상도 |
800×600 픽셀, 256색 이상 |
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하드 디스크 공간 용량 |
10 M바이트 이상 |
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인터페이스 |
RS-232 C(시리얼 포트),
또는(USBVer1.1이상)을 탑재하고 있는 것 |
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Windows는 Microsoft사의 등록상표입니다. |
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Pentium는 Intel사의 등록상표입니다. |
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| 자세히 알아보기 |
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